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고에너지 자기이온주입된 씰리콘의 결함거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
MeV 이온주입된 단결정 실리콘내의 이차결함 형성기구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Si(100)에 주입된 불활성 기체 이온들의 방출 특성
Applied Science and Convergence Technology
2006 .01
고에너지 이온선을 이용한 분석 기술
한국자기학회지
1996 .04
In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO<sub>2</sub>/Si
Carbon letters
2017 .01
B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
Two kinds of defects existing on Si(5 5 12)-2×1
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
이온소스 Cathode 형태가 이온 빔에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Si(100)에 이온 주입 시 dose rate에 따른 damage profile과 sheet resistance의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
Variation of the Si-induced Gap State by the N defect at the Si/SiO₂ Interface
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
이온빔의 기본원리와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Si(100)에 low energy로 Ultra high dose 이온 주입 시 Dose rate 변화에 따른 Sheet Resistance
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Si(100)에서의 플라즈마 이온주입 방법으로 도핑된 Boron의 거동연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Si+이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Epitaxy에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
As이온이 주입된 Si의 구조적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
플라즈마 잠김 이온 주입에 대한 플라즈마 덮개의 해석
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
저에너지 Cs+ 이온빔 반응성 산란에 의한 Si(111) - 7x7 표면의 초기 산화상태 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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