고에너지 자기이온주입된 씰리콘의 결함거동

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구

이상환 ,  김광일 ,  권오준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

MeV 이온주입된 단결정 실리콘내의 이차결함 형성기구

조남훈 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성

김국진 ,  박세일 ,  유광민 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Si(100)에 주입된 불활성 기체 이온들의 방출 특성

조삼근

Applied Science and Convergence Technology

2006 .01

고에너지 이온선을 이용한 분석 기술

김효배 ,  송종한 ,  김희중

한국자기학회지

1996 .04

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성

송재훈 ,  김지수 ,  임성일 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

Two kinds of defects existing on Si(5 5 12)-2×1

Ganbat Duvji ,  Hidong Kim ,  Otgonbaya 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

이온소스 Cathode 형태가 이온 빔에 미치는 영향

민관식 ,  이승수 ,  윤주영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Si(100)에 이온 주입 시 dose rate에 따른 damage profile과 sheet resistance의 변화

김형인 ,  정영완 ,  강석태

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화

박재원 ,  이재형 ,  이재상 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

Variation of the Si-induced Gap State by the N defect at the Si/SiO₂ Interface

김규형 ,  정석민

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

이온빔의 기본원리와 응용

김용환

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Si(100)에 low energy로 Ultra high dose 이온 주입 시 Dose rate 변화에 따른 Sheet Resistance

김형인 ,  박재형 ,  전유승 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Si(100)에서의 플라즈마 이온주입 방법으로 도핑된 Boron의 거동연구

서정혜 ,  이우정 ,  정광수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Si+이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Epitaxy에 관한 연구

오재근 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

As이온이 주입된 Si의 구조적 특성 연구

문영희 ,  배인호 ,  김말문 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

플라즈마 잠김 이온 주입에 대한 플라즈마 덮개의 해석

김영권 ,  김영삼 ,  조대근 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .11

저에너지 Cs+ 이온빔 반응성 산란에 의한 Si(111) - 7x7 표면의 초기 산화상태 연구

김기여 ,  강헌

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02