비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구

김진혁; 이정용

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김진혁 이정용

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제5회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.7

수록면: 68 - 69 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

1994

비정질 실리콘 박막의 결정화 현상에 관한 투과전자 현미경에 의한 연구

김진혁 , 이정용 , 남기수 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1994.07 학술대회자료

비정질 실리콘 박막의 결정화 현상에 관한 투과전자현미경에 의한 연구 ( Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization Phenomena of the Amorphous Silicon Thin Films )

김진혁 , 이정용 , 남기수 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1994.07 학술대회자료

비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구 ( A High - Resolution Transmission Electron Microscopy Study of the Grain Growth of the Crystalline Silicon in Amorphous Silicon Thin Films )

김진혁 , 이정용 , 남기수 전자공학회논문지-A 1994.07 학술저널

1993

비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구

김진혁 , 이정용 한국진공학회 학술발표회초록집 1993.07 학술대회자료

레이저 열처리된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구

김진혁 , 이정용 한국재료학회 학술발표대회 1993.01 학술대회자료

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김진혁

소속기관 한국광기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 295

이정용

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 23 이용수 353

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