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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제3호
발행연도
2000.9
수록면
221 - 226 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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졸겔법 및 진공증착법으로 WO₃ 및 V₂O_5 박막을 제조하고, 리튬이온을 이용하여 전기변색 소자를 제작한 후 광학적 특성을 조사하였다. 측정결과 졸겔법으로 제조된 WO₃ 박막과 V₂O_5 박막을 수증기 분위기에서 500℃로 1시간 열처리한 경우 가장 우수한 투과율 변화량을 나타내었다. 정ㆍ역방향 동작을 거듭할수록 WO₃ 막의 텅스텐과 ITO막의 인듐이 상호 확산하는 것을 관찰할 수 있었으며, 이를 방지하기 위해 수백 Å의 텅스텐 박막을 ITO와 WO₃막 사이에 삽입한 결과, cyclic voltamogram의 peak의 감소량이 1/10 이하로 감소하였으며, 리튬이온의 흐름에 의한 인듐과 텅스텐의 이 동을 효과적으로 방지할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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