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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제4호
발행연도
2000.12
수록면
382 - 388 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2001

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2001.04 학술저널
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

ECR - PECVD 방법으로 제조한 a-C:H 박막의 결합구조
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료

1999

ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구
손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1999.10 학술대회자료

초록· 키워드

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ECR-PECVD 방법을 이용하여 ECR power, CH₄/H₂ 가스 혼합비와 유량, 증착시간, negative DC self bias 전압 등을 변화 시켜가면서 수소가 함유된 비정질 탄소 박막을 제조하고, 증착조건에 따른 박막의 결합구조 변화를 FTIR로 분석하였다. a-C:H 박막에 대한 FTlR 스팩트럼의 흡수 peak들은 2800~3000 ㎝-¹ 영역에서 관측되었으며, 대부분 sp³ 결합을 하고있고 일부 sp² 결합구조가 존재함을 알 수 있었다. CH₄/H₂ 가스 혼합비와 유량의 미소 변화는 a-C:H 박막의 탄소와 수소의 결합구조에 큰 영향을 미치지 않았으며, 증착 시간이 증가할수록 탄소와 수소 원자들의 결함구조가 CH₃ 구조로부터 CH₂ 나 CH 구조로 변하고 있음을 확인하였다. 또한, bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소 원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 현상도 확인할 수 있었으며, 증착조건에 따른 a-C:H 박막의 결합구조 분석을 토대로 산업에 응용할 수 있는 높은 경도와 밀착성을 갖는 박막을 ECR-PECVD 방법으로 제조할 수 있음을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 토의

4. 결론

감사의 글

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