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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제1호
발행연도
2001.4
수록면
119 - 126 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2001

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2001.04 학술저널
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

ECR - PECVD 방법으로 제조한 a-C:H 박막의 결합구조
손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료

1999

ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구
손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1999.10 학술대회자료

초록· 키워드

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ECR-PECVD 방법으로 ECR 플라즈마 소스 power, CH₄/H₂가스 혼합비와 유량, 증착시간 및 기판 bias 전압을 변화시켜 가면서 수소가 함유된 비정질 탄소 박막을 증착하고, 증착조건에 따라서 박막 내부에 함유되어 있는 수호함량 변화를 2.5MeV 헬륨 이온빔을 사용하는 ERDA로 측정하였다. ERDA의 결과와 AES 및 RBS에 의한 성분분석으로부터 본 실험에서 증착된 박막은 탄소와 수소만으로 구성 되어있음을 확인할 수 있었고, FTIR의 결과로부터 박막 증착조건에 따라서 박막 내부에 함유되어 있는 수소함량이 변화함을 알 수 있었다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 현상으로 수소함량이 크게 감소됨을 알 수 있었다. 그 밖의 조건에서는 박막증착 초기에는 수소보다 탄소량이 좀 더 많다가 점차적으로 수소함량이 증가되었고, 이때 박막 내부에 함유되어 있는 수소함량은 45~55% 범위 내에 있음을 확인 할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 토의

4. 결론

감사의 글

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