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이용수
2008
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론적 배경
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌
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2008 .02
수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
Trench Isolation 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거 기술 연구
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1995 .06
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복식
2007 .11
Plasma anisotropic deposition of copper in trenches of nm scale
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2007 .08
X - ray scattering study of copper - filling profile in submicron trenches
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2002 .06
Trench 형성 및 High-k 물질의 적층을 통한 고출력 특성 EIS pH센서 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Analysis on self heating effect on trench structure in 5 nm node 3D stacked nanowire FET
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
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2000 .01
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1997 .07
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1996 .06
1.5 ㎛ InGaAs/InGaAsP/InP 양자점 Superluminescent Diode의 광 특성
Applied Science and Convergence Technology
2006 .09
유도결합 Cl₂ 및 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
체크리스트법에 의한 트렌치코트 디자인 분석
복식
2012 .11
Application of graphene nanoribbon trench in fullerene shuttle device
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복
Applied Science and Convergence Technology
2004 .09
다결정 실리콘의 선택적 성장을 이용한 깊은 트랜치 격리기술
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
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