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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
206 - 206 (1page)

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1998

Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구
이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명 한국표면공학회지 1998.10 학술저널

1997

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구
이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료
Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구
이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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