터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 고찰

강상백; 신진현; 차덕준; 고득용; 정완섭; 임종연

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강상백 (한국표준과학연구원) 신진현 (한국표준과학연구원) 차덕준 (군산대학교) 고득용 (한국기계연구원) 정완섭 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제4호

발행연도: 2010.7

수록면: 249 - 255 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

분자류 영역에 따른 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 연구

강상백 , 신진현 , 차덕준 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 고찰

강상백 , 신진현 , 차덕준 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2010.07 학술저널

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터보분자펌프(TMP)의 특성평가는 ISO, PNEUROP, DIN, JIS, AVS 등 세계 여러 나라의 표준제정기구에서 제정한 국제규격에 그 근거를 두고 있다. 한국표준과학연구원에서는 이러한 국제규격에 기반을 둔 터보분자펌프의 특성평가시스템을 자체 설계/제작하여 그 신뢰성을 확인하기 위해 개발품 및 상용품의 평가에 주력하고 있다. 터보분자펌프의 배기속도 측정방법으로서 기체흐름 영역에 따른 throughput method와 orifice method를 적용하고 있으나 측정게이지, 유량계 및 orifice conductance 의 불확도 등 실질적으로 정확한 배기속도를 제시하기 위한 조건들의 제약 때문에 많은 측정오차를 포함하고 있다고 볼 수 있다. 이러한 배기속도의 측정오차를 줄이기 위한 하나의 고찰로서 본 논문에서는 10-1 Pa-L/s 영역까지의 유량 주입범위를 가지는 기 구축된 정적법을 이용한 유량주입에 기반을 둔 throughput method를 이용하여 1000 L/s TMP의 측정 능력을 검증하고자 한다. 또한 분자류 영역인 orifice method를 사용할 경우 고진공영역, 미세유량 주입영역으로 진입할수록 커질 수밖에 없는 배기속도 측정 불확도를 최소화시키기 위해 검증된 유량을 이용한 conductance 값을 제시하여, 기 언급한 두 가지 배기속도 측정 방법의 연속성을 유지하기 위한 실험적인 방법론을 제기하고자 한다.

#고진공펌프 #배기속도 #TMP #Orifice method #Conductance method #High-vacuum pump #Pumping speed

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

1. [단행본] - 배석희 / 2000 / 진공공학 / 한국경제신문

2. [기타자료] - / / PNEUROP 5608: Vacuum pumps - acceptance specifications - Turbomolecular pumps - Part Ⅲ, 1989

3. [기타자료] - / / ISO 5302: Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics, 2003

4. [기타자료] - / / ISO 21360: Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum - pump performance - General description, 2007

5. [기타자료] - / / ISO/NP 21360-2: Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum - pump performance - Part 2: Positive displacement vacuum pumps, 2007

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