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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.3
- 수록면
- 141 - 145 (5page)
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ZnO:Al 박막을 RF magnetron sputtering 법을 이용하여 초기 압력에 따라 증착하고 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 연구하였다. 초기 압력 변화에 의해 ZnO:Al 박막의 특성의 변화를 확인하였고 고품질의 박막을 얻을 수 있었다. 모든 ZnO:Al 박막에서 (002)면의 우선 배향성을 보였으며 가시광선 영역(400∼800 ㎚)에서 85% 이상의 좋은 투과도를 보였다. 초기 압력이 낮아질수록 결정성, 비저항 그리고 성능지수 특성이 향상됨을 확인하였다. 초기 압력에 따른 비저항의 향상은 결정립 크기 변화에 의한 것으로 판단된다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - K. Tonooka / 2003 / / Thin Solid Films 445 : 327 ~
2. [학술지(정기간행물)] - G. K. R. Senadeera / 2003 / / Appl. Phys. Lett 83 : 5470 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 조신호 / 2009 / 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과 / 한국진공학회지 18 (5) : 377 ~ 383
4. [학술지(정기간행물)] - 이지수 / 2008 / RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리 기판 위에 성장 시킨 Ga 도핑된 ZnO 박막의 열처리에 따른 구조적, 광학적 특성 평가 / 한국진공학회지 17 (1) : 23 ~ 27
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lorenz / 2003 / / Solid-State Electron 47 : 2205 ~
2. [학술지(정기간행물)] - G. K. R. Senadeera / 2003 / / Appl. Phys. Lett 83 : 5470 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 조신호 / 2009 / 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과 / 한국진공학회지 18 (5) : 377 ~ 383
4. [학술지(정기간행물)] - 이지수 / 2008 / RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리 기판 위에 성장 시킨 Ga 도핑된 ZnO 박막의 열처리에 따른 구조적, 광학적 특성 평가 / 한국진공학회지 17 (1) : 23 ~ 27
5. [학술지(정기간행물)] - M. Lorenz / 2003 / / Solid-State Electron 47 : 2205 ~
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