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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.9
- 수록면
- 377 - 383 (7page)
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라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 사파이어 기판 위에 Al 도핑된 ZnO (AZO) 박막을 성장시킨 후에 온도 범위 600-900℃에서 급속 열처리를 수행하였다. 박막의 결정 구조와 표면 형상은 각각 X-선 회절법과 주사전자현미경으로 조사하였다. 급속 열처리 온도가 증가함에 따라 박막의 결정성은 향상되었고, 평균 50 ㎚의 크기를 갖는 육각형 형태의 결정 입자가 관측되었다. 증착된 모든 박막은 파장 영역 400-1100 ㎚에서 92%의 평균 투과율을 나타내었다. 열처리 온도가 증가함에 따라 박막의 밴드갭 에너지는 감소하였고, 광여기 발광 신호의 경우에 자외선 발광 신호의 세기가 감소하면서 400 ㎚에 중심을 둔 보라색 발광 신호가 주된 피크를 형성하였다. 박막의 전기적 특성은 열처리 온도에 현저한 의존성을 보였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - A. A. Ibrahim / 2006 / / J. Mater. Sci: Mater. Electron 17 : 835 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Abouzaid / 2005 / / Superlattices & Microstructures 39 : 387 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. Cho / 2006 / / Phys. Stat. Sol 203 : 3699 ~
4. [학술지(정기간행물)] - A. V. Singh / 2004 / / J. Appl. Phys 95 : 3640 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Z. Y. Xue / 2002 / / Appl. Surface Sci 195 : 126 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Abouzaid / 2005 / / Superlattices & Microstructures 39 : 387 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. Cho / 2006 / / Phys. Stat. Sol 203 : 3699 ~
4. [학술지(정기간행물)] - A. V. Singh / 2004 / / J. Appl. Phys 95 : 3640 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Z. Y. Xue / 2002 / / Appl. Surface Sci 195 : 126 ~
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