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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
23 - 27 (5page)

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본 연구에서는 상온에서 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리 기판위에 증착된 Ga 도핑 된 다결정 ZnO 박막의 특성을 개선하기 위하여 적정 열처리 조건을 분석하였다. 먼저 박막 성장 후 박막의 특성을 분석하였고 각각 400~600 ℃에서 30분, 60분간 질소 분위기에서 열처리를 한 후 구조적, 광학적 특성을 평가하였다. XRD와 FE-SEM을 사용하여 열처리온도 변화에 따른 결정입자의 크기의 변화를 관찰하였다. 그 결과 성장된 결정의 크기의 증가와 박막의 결정성이 향상되었음을 확인할 수 있었으며 그로 인해 박막 특성을 중시하는 투명 전도막의 투과도의 향상 또한 확인할 수 있었다. 결론적으로, 본 실험을 통하여 ZnO 성장 후 적절한 열처리를 수행함으로서 GZO 박막을 사용하여 제작된 소자의 특성을 개선할 수 있으리라 판단된다.
#ZnO #RF 마그네트론 스퍼터 #열처리 #유리 기판 #RF magnetron sputtering #annealing #glass

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - Y. J. Li / 2005 / Semicond. Sci / Technol 20 (720) google schola 2. [학술지(정기간행물)] - R. L. Hoffman / 2003 / Appl. Phys / Lett 82 (733) google schola 3. [기타자료] - K. Nomura / 2004 / Nature 432 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 1984 / Jpn. J. Appl / Phys 23 (L280) google schola 5. [기타자료] - B. H. Choi / 1990 / Thin Solid Films 193 google schola

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