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Seong-joon Kim (Chosun University) Man Soo Kim (LIGNex1) Suk joo Bae (Hanyang University)
저널정보
한국신뢰성학회 한국신뢰성학회 학술대회논문집 한국신뢰성학회 2019 추계학술대회 논문집
발행연도
2019.10
수록면
41 - 41 (7page)

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지속적으로 미세공정화가 진행되는 반도체(MOSFET) 개발에 있어서 신뢰성 문제는 매우 중요한 문제이다. 게이트 절연막(gate oxide)의 절연기능 상실로 인한 트랜지스터소자의 고장은 MOSFET에서 가장 중요한 고장모드 중 하나이다. 본 연구에서는 다양한 공간결점 프로세스를 사용하여 게이트 절연막에서 발생하는 결함을 모사하고 신뢰성을 추정한다. 나아가 면적이 감소함에 따라 변화하는 수명특성을 프랙탈 구조를 이용하여 예측할 수 있는 방법을 제안한다.

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