Atomic Layer Etching of Tungsten using NF₃/O₂ plasma

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Enhancement of Electrical Properties of GaN-based Devices by Atomic Layer Etching

김두산 ,  길유정 ,  장윤종 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Damage - Free Layer Control of MoS2 Using Atomic Layer Etching

지유진 ,  김기석 ,  김기현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Anisotropic/Isotropic Atomic Layer Etching of Metals

Doo San Kim ,  Ju Eun Kim ,  You Jung Gill 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .05

차세대 원자층 공정 제어기술 개발: 원자층 식각(ALE)

전민성

진공이야기

2023 .03

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Layer-by-layer Control of MoS2 Thickness by ALET

김기현 ,  김기석 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Cyclic Dry Etching of SiO₂ using NF₃/H₂ remote plasma

길홍성 ,  길유정 ,  김두산 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges

Kyongnam Kim

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

Atomic Layer Epitaxy of III-N Semiconductors

C.R. Eddy ,  N. Nepal ,  N.A. Mahadik 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Machine Learning-Based Prediction of Atomic Layer Control for MoS² via Reactive Ion Etcher

Changmin Kim ,  Seunghwan Lee ,  Muyoung Kim 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

A study on the phenomenon of non uniformity at isolate pattern using ion beam etching

Jongsoon PARK ,  Jongkyu KIM ,  Sangkuk KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Cyclic Plasma Cleaning Process of SiO2 Layers using Surface Fluorination

Kyongbeom Koh ,  Duhyeon Ka ,  Hong 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Atomic-layer superconductors

Shuji HASEGAWA

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment

양경채 ,  박성우 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Ultrathin BP layer fabrication by photochemical etching

김정원

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Chronology of photoexcited carriers in atomic layers

Iwao Matsuda

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08