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Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Damage - Free Layer Control of MoS2 Using Atomic Layer Etching
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
차세대 원자층 공정 제어기술 개발: 원자층 식각(ALE)
진공이야기
2023 .03
Cyclic Dry Etching of SiO₂ using NF₃/H₂ remote plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Enhancement of Electrical Properties of GaN-based Devices by Atomic Layer Etching
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
The comparison of end-point detection between optical emission spectroscopy and residual gas analysis in silicon etching in NF3/Ar Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Anisotropic/Isotropic Atomic Layer Etching of Metals
Applied Science and Convergence Technology
2020 .05
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
C₃F6O/O₂ 혼합 가스의 SiO₂, Si₃N₄에 대한 식각 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Thermal Atomic Layer Etching of Al₂O₃ Using Ligand Exchange with CF₄ and NF₃ Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Analysis of electrochemical etching conditions of ultra-sharp tungsten tips and its applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Layer-by-layer Control of MoS2 Thickness by ALET
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Machine Learning-Based Prediction of Atomic Layer Control for MoS² via Reactive Ion Etcher
Applied Science and Convergence Technology
2023 .09
Applications of fluid based plasma simulation : dry etch
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Atomic Layer Epitaxy of III-N Semiconductors
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Chronology of photoexcited carriers in atomic layers
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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