수소 기반 플라즈마를 이용한 PRAM 재료의 식각 특성 연구

김예은 ,  김두산 ,  김주은 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여

이호준

인포메이션 디스플레이

2017 .01

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

리모트 타입의 유도결합 플라즈마를 이용한 이황화 몰리브덴 (MoS2) 의 chlorine doping 에 관한 연구

김기현 ,  김기석 ,  지유진 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

고령자를 위한 캐릭터 형 음악치료기기 제품의 리모트컨트롤러 디자인 선행 연구

이해구 ,  이향진 ,  박진세

대한인간공학회 학술대회논문집

2018 .11

High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구

탁현우 ,  이혜주 ,  정병호 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

저온 폴리실리콘 공정(LTPS)에 적용가능한 낮은 GWP 가스를 사용하는 컨택홀 반응성 이온 식각

정준원 ,  홍종우 ,  어형준 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

디스플레이 공정 플라즈마 기초

김동환 ,  정진욱

인포메이션 디스플레이

2015 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

Silicon atomic layer etching by two-step plasma process consisting of oxidation and modification to form (NH₄)₂SiF₆, and its sublimation

Eun-Jin Song ,  Ji-Hoon Ahn ,  Jung-Dae Kwon

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구

서권상 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출

노호택 ,  박영국 ,  한승수

전기전자학회논문지

2016 .03

Improvement in the Device Performance of ALD-Zn(O,S)/CZTSSe Heterojunction Thin-Film Solar Cells via Chemical Treatment

Raju Nandi ,  Jaeyeong Heo

AFORE

2021 .10

이중 배기 시스템을 이용한 반응성 이온빔 식각 라디칼 제어 연구

장윤종 ,  김두산 ,  김예은 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

이황화 몰리브덴 박막의 반응성 이온 에칭에서 반응 속도 및 결정 의존성

순민기 ,  김관하

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별

구준모 ,  박담대 ,  하대근 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2016 .03

NH3 Plasma Treatment를 사용한 고성능 TFT 제작 및 분석

박희준 ,  Nguyen Van Duy ,  이준신

전기전자재료학회논문지

2017 .08

HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘

박찬 ,  이준희 ,  박용범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2022 .04