Electrical and Structural Properties of Lanthanum Hafnium Oxide (LHO) Films Deposited by ECR Atomic Layer Deposition

Sang-Kyun Pa ,  k ,  Woong-Sun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Properties of lanthanum oxide deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

Kang ,  Byung-Woo ,  Kim 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Atomic Layer Deposition for Displays Applications

최동원 ,  박진성

인포메이션 디스플레이

2013 .01

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Characterization of Thin Films deposited at Low Temperature by using Atomic Layer Deposition and E-beam Evaporation

Jeong Hwan Kim ,  Sung-Woong Lee ,  Jae-Sung Yoo 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Si Epitaxial Growth on LOCOS Patterned Wafer by Ultra-High Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Hafnium Oxide Nano-Film Deposited on Poly-Si by Atomic Layer Deposition

Wei ,  Hung-Wen ,  Ting 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성

이은주 ,  김범용 ,  고명균 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01