Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  金在聲 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .03

전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

이석현 ,  김재성 ,  황기웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정주용 ,  하승호 ,  이진민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Surface Roughness and Defect morphology in Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma Cleaned ( 100 ) Silicon at Low Temperatures

Ki Hyun Hwang ,  Eui Joon Yoon ,  Ki Woong Whang 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

다결정 실리콘 박막트랜지스터의 저온 암모니아 어닐링에 관한 연구

박재홍 ,  정종원 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터용 유도결합플라즈마 산화

최용우 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

다결정 실리콘 박막트랜지스터의 저온 암모니아 어닐리에 관한 연구 ( A Study on the Low Temperature NH3 Annealing on Polysilicon Thin Film Transistor )

박재홍 ,  정종원 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과

김경덕 ,  김성주 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과 ( Hydrogenation Effects of Low Temperature Poly-Si Thin Film Transistor )

김경덕 ,  김성주 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

저온에서 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 대한 분석

최권영 ,  김용상 ,  이성규 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

다결정 실리콘 박막 트랜지스터에서의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향

김용상 ,  최만섭

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 2종 결함을 고려한 트랩 상태 밀도 모델

金容商 ,  黃貞烈 ,  李成圭 외 3명

전기학회논문지

1994 .11

Raman Scattering Study of InGaN Grown by Ion-Removed Electron Cyclotron Resonance MBE on ( 001 ) Al2O3

Yong Seok Choi ,  Soon Jae Yu ,  Yong Kook Joh 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors )

남기수 ,  노태문 ,  조덕호 외 2명

전자공학회논문지-A

1991 .03