In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Si Epitaxial Growth on LOCOS Patterned Wafer by Ultra-High Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장

주성재 ,  황석희 ,  황기현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Low Temperature Growth of GaN on Nitridated Sapphire using Remote Plasma Enhanced Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition

김동준 ,  김경국 ,  백종식 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

p형 Si(100) 기판 상에 안티몬 도핑된 n형 Si박막 구조를 갖는 pn 다이오드 제작 및 특성

김광호

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

FABRICATION OF VISIBLE THIN-FILM LIGHT-EMITTING DIODE USING PHOTO CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Jong Wook Lee ,  Koeng Su Lim

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

SILICON NANO-STRUCTURES VIA SELECTIVE SURFACE CHEMICAL REACTIONS UNDER ULTRAHIGH VACUUM

Yun ,  Wan-Soo ,  Ha 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

Surface Roughness and Defect morphology in Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma Cleaned ( 100 ) Silicon at Low Temperatures

Ki Hyun Hwang ,  Eui Joon Yoon ,  Ki Woong Whang 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication of Ultrahigh-thick Submicron Structures

김광현 ,  유선영 ,  김성욱 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  金在聲 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .03

전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

이석현 ,  김재성 ,  황기웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07