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저자정보
Cho, Sung-Woo (Dept. of Information and Nano-Material Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Choi, Kwang-Hyuk (Dept. of Information and Nano-Material Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Jeong, Jin-A (Dept. of Information and Nano-Material Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Kim, Bong-Seok (Z-TEC Co.,Ltd) Jeong, Dae-Ju (Z-TEC Co.,Ltd) Kim, Han-Ki (Dept. of Information and Nano-Material Engineering, Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2008.1
수록면
613 - 616 (4page)

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We report on electrical and optical properties of flexible ITO electrode grown on PET substrate using a specially designed roll-to-roll facing target sputtering (R2R FTS) system at room temperature without conventional cooling drum. Due to effective confinement of high density plasma between ITO targets, we can grow a flexible ITO electrode without cooling drum at room temperature.
#facing target sputter #Roll-to-Roll #ITO #flexible display #OLED

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