기판 열처리가 롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 터치 패널용 유연 ITO 투명 전극의 특성에 미치는 효과 연구

김동주; 이원영; 김봉석; 김한기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김동주 이원영 김봉석 김한기

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제4호

발행연도: 2010.1

수록면: 327 - 332 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구

김동주 , 김봉석 , 김한기 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

2010

성막직전 기판 열처리가 롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 터치 패널용 ITO 투명 전극의 특성 미치는 효과 연구

김동주 , 김봉석 , 김한기 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

기판 열처리가 롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 터치 패널용 유연 ITO 투명 전극의 특성에 미치는 효과 연구

김동주 , 이원영 , 김봉석 외 1명 전기전자재료학회논문지 2010.01 학술저널

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We report on the effect of PET substrate preheating on the characteristics of the flexible and transparent indium tin oxide (ITO) electrode grown by a specially designed roll-to-roll sputtering system for touch panel applications. It was found that electrical and optical properties of the roll-to-roll sputter grown ITO film were critically dependent on the preheating of the PET substrate. In addition, the roll-to-roll sputter-grown ITO film after post annealing test at 140℃ for 90 min showed stable electrical and optical properties. The low sheet resistance and high optical transmittance of the ITO film grown on the preheated PET substrate demonstrate that the preheating process before ITO sputtering is one of the effective way to improve the characteristics of ITO/PET film. Furthermore, the superior flexibility of the ITO electrode grown on the preheated PET substrate indicates that the preheating treatment is a promising technique to obtain robust ITO/PET sample for touch panel applications.

#ITO #Roll-to-Roll sputtering #Touch panel #PET substrate

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

H.-Y.Yeom / 2002 / A study of the effect of process oxygen on stress evolution in d.c magnetron-deposited tin doped indium oxide / Thin Solid Films 411 : 17 ~

J.-Y. Lee / 2008 / Growth and characterization of indium tin oxide thin films deposited on PET substrate / Thin Solid Films : 1634 ~

K.-H. Choi / 2009 / Characteristics of flexible indium-tin oxide electrode grown by continuous roll to roll sputtering process for flexible organic solar cells / Solar Energy

L.Hao / 2008 / Thickness dependence of structural electrical and optical properties of indium tin oxide(ITO) films deposited on PET substrate / Appl. Surf. Sci 254 : 3504 ~

Y.-S / 2010 / Highly flexible indium zinc oxide electrode grown on PET substrate by cost efficient roll to roll sputtering systems / Thin Solid Films 518 : 3071 ~

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