Effective Characterization Methods of Polycrystalline Silicon Films Fabricated by Ni Induced Crystallization

Koo, Hyun-Woo; Maidanchuk, Ivan; Jung, Jae-Wan; Lee, Ki-Yong; Berkeley, Brian H.; Kim, Sang-Soo

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저자정보: Koo, Hyun-Woo (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.) Maidanchuk, Ivan (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.) Jung, Jae-Wan (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.) Lee, Ki-Yong (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.) Berkeley, Brian H. (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.) Kim, Sang-Soo (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display

발행연도: 2009.1

수록면: 250 - 253 (4page)

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Effective methods for monitoring the quality of polycrystalline silicon (poly-Si) films are discussed. Raman spectroscopy is typically used to determine crystallinity of poly-Si, but this method has limitations for data gathering on large substrates for mass production of poly-Si TFT backplanes. Spectroscopic ellipsometry is proposed as an alternative for fast and simple estimation of poly-Si quality on large substrates. By using both ellipsometry and Raman spectroscopy, it is possible to determine whether the quality and uniformity of the poly-Si films meet the criteria required for mass production of TFT backplanes for AMOLED panels.

#Super Grain Silicon #SGS) #Raman Spectroscopy #Spectroscopic Ellipsometry

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Koo, Hyun-Woo

소속기관 OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.

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Maidanchuk, Ivan

소속기관 OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.

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Jung, Jae-Wan

소속기관 OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co. LTD.

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Lee, Ki-Yong

소속기관 Samsung SDl CO.,LTD.

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Berkeley, Brian H.

소속기관 OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., Ltd.

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Kim, Sang-Soo

소속기관 LCD Technology Center, LCD Business, Samsung Electronics Co., Ltd.

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