Continuous Roll-to-Roll(R2R) sputtering system for growing flexible and transparent conducting oxide electrode at room temperature

Park, Yong-Seok; Jeong, Jin-A; Park, Ho-Kyun; Kim, Han-Ki

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저자정보: Park, Yong-Seok (Dept. of Display Materials Engineering & Regional Innovation Center for Component and Materials for Information Displays, Kyung Hee University) Jeong, Jin-A (Dept. of Display Materials Engineering & Regional Innovation Center for Component and Materials for Information Displays, Kyung Hee University) Park, Ho-Kyun (Dept. of Display Materials Engineering & Regional Innovation Center for Component and Materials for Information Displays, Kyung Hee University) Kim, Han-Ki (Dept. of Display Materials Engineering & Regional Innovation Center for Component and Materials for Information Displays, Kyung Hee University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display

발행연도: 2009.1

수록면: 1,575 - 1,577 (3page)

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We have investigated the characteristics of transparent indium zinc oxide(IZO)/Ag/IZO multilayer electrode grown on polyethylene terephthalate (PET) substrates using a specially designed roll-to-roll sputtering system for use in flexible device are described. By the continuous R2R sputtering of the bottom IZO, Ag, and top IZO layers at room temperature, we were able to fabricate an IZO-Ag-IZO multilayer electrode with a sheet resistance of 6.15 ${\Omega}$/square, optical transmittance of 87.4 %, and figure of merit value of 42.03 10-3 ${\Omega}$-1. In addition, the IZO-Ag-IZO multilayer electrode exhibited superior flexibility to the RTR sputter grown single ITO electrode, due to the existence a ductile Ag layer between the IZO layers. This indicates that the RTR sputtered IZO-Ag-IZO multilayer is a promising flexible electrode that can substitute for the conventional single ITO electrode grown by bath type sputtering for use in low cost flexible device, due to its low resistance, high transparency, superior flexibility and fast preparation by the R2R process.

#Roll-to-Roll #sputter #IZO #multilayer

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