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학술대회자료
저자정보
Arai, Takeshi (Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.) Nakasu, N. (Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.) Yoshimura, K. (Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.) Edamura, T. (Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,036 - 1,039 (4page)

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We have developed an automated circuit defect repair method. We focused on the resist patterns on the circuit material layer of TFT substrates before the etching process. In this paper, we report on the repair method that utilizes the syringe system and the stability of the open defect repair process.
#Repair #Defect #TFT #syringe

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