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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.8
- 수록면
- 4,319 - 4,322 (4page)
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In TFT-LCD panel fabrication process, there are many kinds of defects which cause mal-functioning of TFT circuits, due to problems in manufacturing processes , machines and particles in the air. Line defect is main cause of yield loss in TFT-LCD fabrication process and detecting them is very difficult because of their tiny size. we propose high-speed and high precise automated line defect detection system. In order to high speed image grabbing, TTL position signal generated by XY gantry motion controller is used to synchronizing signal of strobe illuminator and camera. The effective image processing algorithms to find defects using the microscope image is adopted. In order to judge whether previously extracted defect is Line Defect or not, detect zone which represent Gate, Data layer zone line defect mainly caused is adopted also. The vision processing can detect very small defects (under 2um) in 90% success ratio and 60mm/sec high scan speed @10X microscopic lens. In addition, through the implementation embeded image processing PC, low image processing time(100msec) in each image and it can be parallelized with image scanning.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. BACKGROUND
3. SYSTEM CONFIGURATION
4. DETECTION ALGORITHM
5. RESULT & CONCLUSION
REFERENCES
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