Investigation on the Electric Properties of a-Si on c-Si by used PECVD

HyeonHun Yang ,  Hanwool Kim ,  ChangGwon Lee 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .06

Pecvd 방법으로 제작한 Si3N4 / InP Metal-iNsulator-Semiconductor 다이오드의 전기적 특성 ( A Study on the Electrical Characteristics of Pecvd-Grown Si3N4 / InP Metal-iNsulator-Semiconductor Diode )

백상현 ,  임한조

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막내의 Si 함량과 증착온도에 따른 미세경도와 탄성계수변화

옥정태 ,  전준하 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD 법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막 내의 증착 온도와 r.f. Power에 따른 특성 변화

옥정태 ,  전준하 ,  송풍근 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

황처리가 금속 / InP Schottky 접촉과 Si3N4 / InP 계면들에 미치는 영향 ( Effects of Sulfur Treatments on metal / Inp Schottky Contact and Si3N4 / InP interfaces )

허준 ,  임한조 ,  김충환 외 3명

전자공학회논문지-A

1994 .12

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si3N4 기판 위에 PECVD 법으로 형성한 Tungsten Nitride 박막의 특성 ( Characteristic of PECVD-WNx Thin Films Deposited on Si3N4 Substrate )

배성찬 ,  박병남 ,  손승현 외 2명

전자공학회논문지-D

1999 .07

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

ECR-PECVD로 증착한 a-Si : H/Si으로 부터의 가시 PHotoluminescence

심천만 ,  정동근 ,  이주현

한국재료학회지

1998 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07