PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si3N4 기판 위에 PECVD 법으로 형성한 Tungsten Nitride 박막의 특성 ( Characteristic of PECVD-WNx Thin Films Deposited on Si3N4 Substrate )

배성찬 ,  박병남 ,  손승현 외 2명

전자공학회논문지-D

1999 .07

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

김남준 ,  유순재 ,  김앙서 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향

유춘근 ,  구자춘 ,  오수진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD법의 의한 나노결정체 다이야몬드 박막의 증착

김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

Growth and Characterization of a-Si :H and a-SiC:H Thin Films Grown by RF-PECVD

Y. T. Kim ,  S. J. Suh ,  D. H. Yoon 외 8명

한국표면공학회지

2001 .10

Characterization of B-doped a-Si : H Films Deposited by PECVD and Their crystallization behavior

정우철 ,  이정노 ,  안병태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

Investigation on the Electric Properties of a-Si on c-Si by used PECVD

HyeonHun Yang ,  Hanwool Kim ,  ChangGwon Lee 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .06

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01