Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식; 손영웅; 강원구; 강상원

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저자정보: 민재식 손영웅 강원구 강상원

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 329 - 330 (2page)

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1998

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 , 손영웅 , 강원구 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 , 손영웅 , 강원구 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

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