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MOCVD TaN 증착기구에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
MOCVD 방법으로 증착된 TaN와 무전해도금된 Cu 박막 계면의 열적안정성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
MOCVD 방법으로 증착된 TaN와 무전해 도금된 Cu박막 계면의 열적 안정성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
강유전 capacitor용 MOCVD amorphous TaN 박막의 확산방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
$TaN_x$ 박막의 Cu 확산방지특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
구리 배선공정에서의 CVD TaN 확산방지막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
한국재료학회지
2000 .01
Effects of hydrogen and ammonia partial pressure on MOCVD $Co/TaN_x$ layer for Cu direct electroplating
한국재료학회 학술발표대회
2012 .01
Improved electrical properties in Cu gate TFT with oxide semiconductor by using TaN diffusion barrier
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2015 .06
TaN Barrier에서 Cu 박막 Reflow 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Ti와 $SiO_2$상에서의 MOCVD Cu의 성장
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
High-Quality and High Deposition Rate of MOCVD Cu by the Additional H2 Gas
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Cu-CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 Cu와 TaN의 선택비 거동
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
Selectivities of MOCVD -Cu Films on Different Substrate
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
ALD법을 이용해 증착된 TaN 박막이 Cu 확산방지 특성
센서학회지
2004 .01
TDEAT 단일증착원용 이용한 MOCVD TiN 형성과 막질에따른 Cu 확산방지막 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
Growth of c-axis Superconducting YBCO Films on Cu Substrate Using Cu-Free MOCVD Process
한국초전도학회 학술대회
2009 .01
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