급속열처리법을 사용한 PZT박막의 형성 및 특성에 관한 연구

백상훈 ,  백수현 ,  황유상 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RTA처리한 PZT 박막의 강유전 특성

鄭圭元 ,  朴暎 ,  朱弼淵 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

증착온도와 금속열처리에 의한 PZT박막의 결정성 및 배향성 변화

이정영 ,  이병수

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RTA에 따른 Sr_0.7Bi_2.3Nb₂O₉ 박막의 표면특성

김진사 ,  서동수 ,  신철기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구

김인성 ,  이동윤 ,  조영란 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

PZT박막 Capacitor에 관한 기초연구(I)

황유상 ,  백수현 ,  하용해 외 3명

한국재료학회지

1993 .01

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

초고집적 회로용 PZT박막의 형성조건 - 스퍼터링법으로 Si , TiN/Ti/Si 기판위에 증착된 PZT 박막의 급속 열처리에 의한 결정화 및 특성 - ( Formation Conditions of PZT Thin Films for ULSI - A Study on the formation and characteristics of PZT thin films by rapid thermal annealing - )

마재평 ,  박치선 ,  백수현 외 4명

전자공학회논문지-A

1993 .10

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

PZT-5A 탐촉자의 특성 분석

김철수 ,  김상수 ,  송준태 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

PZT박막의 시간에 따른 표면특성열화에 관한 연구

송한욱 ,  홍종인 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

솔젤법에 의한 제작된 PZT 박막의 특성

申泰賢 ,  柳道鉉

전기학회논문지 P

2001 .12

유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구

주필연 ,  정규원 ,  박영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

하부전극 변화에 따른 PZT 박막 특성에 관한 연구

박영 ,  정규원 ,  임승혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07