The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films

Yoon-Ho Song ,  Seung-Youl Kang ,  Kyoung Ik Cho 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

1997 .02

표면 활성화 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

이의석 ,  김영관

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구

김덕녕 ,  박성계 ,  김형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Joule Heating

Jae-Sang Ro

한국표면공학회지

2014 .02

New Solid-phase Crystallization of Amorphous Silicon by Selective Area Heating

Kim ,  Do-Kyung ,  Jeong 외 5명

Journal of information display

2009 .01

Solid Phase Crystallization Kinetics of Amorphous Silicon at High Temperatures

Won-Eui Hong ,  Bo-Kyung Kim ,  Jae-Sang Ro

한국표면공학회지

2008 .04

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

신종배 ,  김병수 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Joule-heating induced crystallization (JIC) of amorphous silicon films

Hong ,  Won-Eui ,  Lee 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

비정질 실리콘 박막의 결정화에 대한 기판의 영향

김현철 ,  김현태

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

P-Channel Amorphous-Silicon Thin-Film Transistors

K. S. Choi ,  M. Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Molecular Dynamics Study on External Field Induced Crystallization of Amorphous Argon Structure

Seungho Pa ,  k ,  Sung San Cho 외 3명

Journal of Mechanical Science and Technology

2004 .11

AGGLOMERATION OF AMORPHOUS SILICON NANOPARTICLES BY THERMAL TREATMENT TOWARD SILICON THIN FILM FORMATION

Bo Yun JANG ,  Ja Young Kim ,  Jeong Chul LEE 외 2명

AFORE

2011 .11

비정질 실리콘의 자기정렬콘텍 (Self Aligned contact)에서 LPCVD 공정시간에 따른 특성 변화 연구

최광남 ,  곽성관 ,  김동식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2006 .11

증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화

황석민 ,  류명관 ,  김기범 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

비정질 실리콘의 결정화를 위한 줄 가열 유도 결정화 공정에 대한 열적 연구

김동현 ,  박승호 ,  홍원의 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05

Alternating Magnetic Field Crystallization of Amorphous Si Films

Kang ,  K.H. ,  Pa 외 8명

Journal of information display

2003 .01