RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구

손지훈 ,  김상현 ,  김홍승 외 1명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2013 .01

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

2단계 증착법을 이용하여 증착한 ZnO 박막의 열처리 효과 분석

이진복 ,  이명호 ,  이혜정 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

DEFENDENCE OF PROPERTIES OF THE AL-DOPED ZNO THIN FILMS DEPOSITED BY RF MAGNTRON SPUTTER ON SPUTTERING TARGET DENSITY

Kim ,  Jin-Yong ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구

이용의 ,  김형준 ,  양형국 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

As이 첨가된 ZnO 박막의 특성에 관한 연구

황득규 ,  박규현 ,  홍민기 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과

윤욱희 ,  명재민 ,  이동희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성

김성연 ,  신범기 ,  김두수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

ZnO 박막 두께에 따른 ZnO 박막 트랜지스터의 특성

김홍승 ,  정재현

인포메이션 디스플레이

2008 .01

p-형 ZnO 박막의 성장 및 전기적특성에 대한 연구

정민창 ,  문태형 ,  고영돈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering

Kook ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

R.F Sputtering으로 제조한 ZnO박막의 미세구조와 광학적 특성에 미치는 잔류응력의 영향

류상 ,  김영만

한국표면공학회지

2005 .08

대향타겟스퍼터링장치에 의해 증착된 ZnO 박막의 결정화적 특성

금민종 ,  성하윤 ,  공석현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11