지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이 논문의 연구 히스토리 (4)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
초음파분무를 이용한 MOCVD법으로 강유전 BaTiO3 박막을 제조하였다. 초음파 분무 MOCVD법은 비교적 저온에서도 후열처리없이 결정화된 박막의 제조가 가능하다. 증착한 박막은 기판온도가 증가할수록 (110) 우선 배향성을 가졌으며, 기판온도에 따라서 서로 다른 결정상을 나타내었다. 기판온도가 55$0^{\circ}C$인 경우에 증착한 박막은 결정화가 완전히 진행되지 않았으며, 결정립의 크기도 매우 작아 상온에서 입방정상의 특성을 보였다. $600^{\circ}C$에서 증착한 박막은 결정화가 진행되어 입자의 크기는 성장하였으나 의사 입방정상을유지하고 있었다. 반만 $650^{\circ}C$에서 증착한 박막은 결정화뿐만 아니라 주상으로 성장하여 수직 방향으로는 박막 두께의 크기를 가져 CV 특성에서 이력곡선을 보였으며, 정전용량의 온도 변화에 따른 특성에서도 상전이의 특성을 나타내었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
초음파분무를 이용한 MOCVD법에 의한 $BaTiO_3$ 박막 제조
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
-
초음파분무 MOCVD 법으로 제조한 4BaTiO_3$ 박막의 큐리온도의 변화
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
강 유전체 박막을 위한 하부전극 MOCVD-pt 박막의 특성
한국재료학회지
1996 .01
-
MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
-
초음파 분무를 이용한 MOCVD에 의한 $PbTiO_3$ 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석
한국재료학회지
1995 .01
-
MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
초음파분무 MOCVD에 의해 제조된 $SrTiO_3$ 박막의 증착조건에 따른 배향성 변화
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
-
스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석
한국산학기술학회 학술대회논문집
2009 .05
-
MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
-
초음파분무를 이용한 MOCVD에 의한 PZT 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
-
표면 텍스쳐된 Al doped ZnO 박막의 기판 온도에 따른 전기적, 광학적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
-
초음파분무를 이용한 MOCVD 에 의한 $ZrO_2$박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
-
증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0