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저자정보
Gill, Doh-Hyun (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University) Kim, Hyun-Sook (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University) Joh, Dae-Guen (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University) Kim, Young-Guon (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University) Choi, Eun-Ha (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University) Cho, Guang-Sup (Charged Particle Beam and Plasma Laboratory, Department of Electrophysics /PDP Research Center, Kwangwoon University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회 한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집
발행연도
2000.1
수록면
109 - 110 (2page)

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Sputtering yield of MgO film in the AC-PDPs has been calculated by Monte Carlo simulation of ion scattering. In the ion energy range less than 50 eV, the sputtering yield is 4 ${\times}$ $10^{-4}$ for Xe ions and it is between 0.1 and 0.01 for He, Ne, and Ar ions. The erosion rate is estimated about $25{\AA}$ per hour for Xe ions in an actual PDP plasma for sustain and full white mode.

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