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자료유형
학술저널
저자정보
경재선 (한양대학교 물리학과) 오혜근 (한양대학교 물리학과) 안일신 (한양대학교 물리학과) 김옥경 (한양대학교 물리학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제2권 제4호
발행연도
2003.1
수록면
23 - 26 (4page)

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The general users find difficulties in using ellipsometers. Thus, the object of this study is to construct an ellipsometer with simple operation principle. We developed an ellipsometer which does not require alignment and calibration before measuring sample. A basis structure model after rotating a compensator spectroscopic ellipsometry, the fixed incidence angle at $70^{\circ}$. This ellipsometer does not demand calibration, because the plane of incidence is not changed due to the novel sample holder structure. The results for various standard samples were compared with those from conventional RCSE to test the performance of this instrument. Also repeated measurements were performed to test the precision of the calibration coefficient in a plane of incidence fixed.
#Calibration and Fixed a Plane of Incidence #Residual Calibration #Phase Calibration

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