ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원 ,  전원진 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Zn 타겟을 이용한 ZnO 박막트랜지스터의 스퍼터링 성장

우맹 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

The effects of the microstructure of ZnO films on their thin film transistors

전하석 ,  박경 ,  김형섭 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

유기금속화학증착법으로 유리기판 위에 성장된 산화아연 하이브리드 구조의 광학적 전기적 특성

김대식 ,  강병훈 ,  이창민 외 1명

한국재료학회지

2014 .01

펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구

심은섭 ,  방성식 ,  강홍성 외 2명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가

공보현 ,  김동찬 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Fabrication of epitaxial ZnO layers on MOCVD-ZnO/(01-12) sapphire by chemical vapor transport

Hong ,  Sang-Hwui ,  Kato 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소 분압비의 영향

이성훈 ,  신민근 ,  변응선 외 3명

한국표면공학회지

2006 .12

기판 온도가 ZnO 박막의 특성에 미치는 영향

정양희 ,  권오경 ,  강성준

한국정보통신학회논문지

2006 .12

Effect of annealing temperature on the electrical characteristics of P-doped ZnO thin films

Kim ,  Jun-Kwan ,  Lim 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

MOCVD를 이용하여 성장시킨 ZnO 나노선의 성장 특성

정민창 ,  오병훈 ,  김두수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교

이재욱 ,  정철원 ,  한석규 외 5명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Effects of Growth Temperature on the Properties of ZnO Thin Films Grown by Radio-frequency Magnetron Sputtering

조신호

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

금속 촉매가 ZnO 박막을 감지물질로 이용한 NO 센서의 특성에 미치는 영향

정귀상 ,  정재민

센서학회지

2010 .01

펄스레이저 증착법에 의해 성장된 ZnO 박막의 특성 관찰

최재완 ,  정창욱 ,  이보화 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01