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This paper describes the fabrication and characteristics of NO sensor using ZnO thin film by RF magnetron sputter system. The sensitivity, working temperature, and response time of sputtered pure ZnO thin film and added catalysts such as Pt, Pd, Al, Ti on those films were measured and analyzed. The sensitivity of pure ZnO thin film at working temperature of 300 oC is 0.875 in NO gas concentration of 0.046 ppm. At same volume of the gas in chamber, measuring sensitivity of 1.87 at 250 oC was the case of Pt/ZnO thin film. The ZnO thin films added with catalyst materials were showed higher sensitivity, lower working temperature and faster adsorption characteristics to NO gas than pure ZnO thin film.
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G.Korotcenkov / 2005 / Gas response control through structual and chemical modification of metal oxide films: state of the art and approacb / Sen. Actu. B 107 : 209 ~ 232
K.S.Yoo / 1996 / NOx sensing charateristics of the WO3-based thin-film gas sensors / J. Kor. Sensors Soc 5 (5) : 39 ~ 46
M. Ali / 2008 / NOx sensing properties of In2O3 thin films grown by MOCVD / Sen. Actu. B 129 : 467 ~ 472
M. Stankova / 2005 / Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / Sen. Actu. B 113 : 241 ~ 248
P. K. basu / 2008 / The superior performance of the electrochemically grown ZnO thin films as methane sensor / Sen. Actu. B 133 : 357 ~ 363
K.S.Yoo / 1996 / NOx sensing charateristics of the WO3-based thin-film gas sensors / J. Kor. Sensors Soc 5 (5) : 39 ~ 46
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M. Stankova / 2005 / Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / Sen. Actu. B 113 : 241 ~ 248
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