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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
장태웅 (한국과학기술원 재료공학과) 이화성 (한국과학기술원 재료공학과) 백종태 (한국전자통신연구소 공정장비연구실) 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제2호
발행연도
1998.1
수록면
131 - 134 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

1998

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널
DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

1997

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

1996

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1996.01 학술저널

1995

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

1994

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교
장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

초록· 키워드

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$SiO_{2}$ 기판과 dimethylethylamine alane(DMEAA)을 반응소스로 하여 알루미늄을 증착시켜 증착전 전처리 가스 종류와 수소 플라즈마 처리에 따른 증착속도의 차이와 미세구조에 대하여 연구하였다. TiN기판에 증착된 알루미늄의 증착속도는 증착전 수소 가스에 의한 전처리한 경우 아르곤이나 헬륨에 의한 전처리에 비해 빠른 증착속도를 나타내었다. 이르곤 플라즈마 전처리나 플라즈마 전처리 하지 않고 $SiO_{2}$기판에 알루미늄을 증착하였을 경우에 비해 수소 플라즈마 전처리에 의해 알루미튬증착시 잠복기(incubation time)가 감소하였으며 치밀한 미세조직을 얻을 수 있었다.

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