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저자정보
Long, Chunping (Dept. of Process Engineering, Beijing BOE) Lee, Xinxin (Optoelectronics Technology CO., LTD.) Wang, Wei (Optoelectronics Technology CO., LTD.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
908 - 910 (3page)

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Thin Film Transistor (TFT) manufacturing process is complicated. Electrostatic discharge (ESD) occurs during every process step. This paper describes ESD phenomena in terms of TFT design and processing flow. The abnormal contact between equipment and glass is found out to be the key reason causing ESD.

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