두께 변화 W/Si 다층박막거울의 계면 거칠기에 대한 반사율 분석

천권수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 천권수 (대구가톨릭대학교 방사선학과)

저널정보: 한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 한국방사선학회 논문지 제12권 제1호

발행연도: 2018.1

수록면: 101 - 106 (6page)

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다층박막거울은 높은 반사 효율로 엑스선을 단색화 하는데 많이 사용되고 있다. 반사되는 엑스선의 파장은 두께주기와 입사각도에 의해 결정되고, 반사율은 층수와 표면 거칠기에 크게 의존하게 된다. 다층박막거울은 중원소와 경원소가 번갈아 적층되어 있는 구조로 되어 있으며 각 계면에서의 거칠기를 고려해야 한다. 본 논문에서는 두께 변화 W/Si 다층박막거울에서 계면 거칠기와 상호확산을 동시에 고려하여 반사율을 조사하였다. 두께 변화 다층박막거울은 균일한 다층박막거울에 비해 반사율은 감소하나 각도 및 에너지 반치폭이 넓은 특징을 보였으며, 상호확산에 따른 반사율의 저하가 크게 증가하였다. 이론적인 설계값에 가까운 반사율을 획득하기 위해서는 다층박막거울을 제작 할 때 나타나는 상호확산의 효과를 고려하여 설계함으로써 목적에 부합하는 최적의 다층박막거울을 설계하고 제작할 수 있을 것이다.

#엑스선광학소자 #다층박막거울 #반사율 #상호확산

참고문헌 (11)

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E. Spiller / 1994 / Soft X-ray Optics / SPIE OPTICAL ENGINEERING PRESS

T. W. Barbee Jr / 1985 / Multilayers for X-ray Optics / Proceedings of SPIE 563:5~28

J. Als-Nielsen D. McMorrow / 2001 / Elements of modern X-ray physics / John Wiley & sons

천권수 / 2009 / Monochromatic X-ray Imaging System Using a W/C Multilayer Mirror / Journal of the Korean Physical Society 55(6):2571~2577

Y. Tawara Y. Yamashita / 1998 / Development of multilayer suppermirror for hard X-ray telescopes / Proceedings of SPIE 3444:569~575

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