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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정필훈 (부산경상대학교 소방안전.전기전자계열) 이동훈 (부경대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회지 한국안전학회지 제32권 제2호
발행연도
2017.1
수록면
34 - 37 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2018

Monte Calro N-Particle Extended Code를 이용한 연X선 정전기제거장치의 최적설계 및 특성
정필훈 학과 2018.01 학위논문

2017

Monte Carlo N-Particle Extended Code를 이용한 연 X선 정전기제거장치의 최적제작에 관한 연구(II)
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2017.01 학술저널
Monte Carlo N-Particle Extended 코드를 이용한 연X선 정전기제거장치의 최적설계에 관한 연구
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2017.01 학술저널

2016

완전차폐 및 이온조절형 연X선식 정전기제거장치의 개발
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2016.01 학술저널

초록· 키워드

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In recent emerging industry, Display field becomes bigger and bigger, and also semiconductor technology becomes high density integration. In Flat Panel Display, there is an issue that electrostatic phenomenon results in fine dust adsorption as electrostatic capacity increases due to bigger size. Destruction of high integrated circuit and pattern deterioration occur in semiconductor and this causes the problem of weakening of thermal resistance. In order to solve this sort of electrostatic failure in this process, Soft X-ray ionizer is mainly used. Soft X-ray Ionizer does not only generate electrical noise and minute particle but also is efficient to remove electrostatic as it has a wide range of ionization. X-ray Generating efficiency has an effect on soft X-ray Ionizer affects neutralizing performance. There exist variable factors such as type of anode, thickness, tube voltage etc., and it takes a lot of time and financial resource to find optimal performance by manufacturing with actual X-ray tube source. MCNPX (Monte Carlo N-Particle Extended) is used for simulation to solve this kind of problem, and optimum efficiency of X-ray generation is anticipated. In this study, X-ray generation efficiency was measured according to target material thickness using MCNPX under the conditions that tube voltage is 5 keV, 10 keV, 15 keV and the target Material is Tungsten(W), Gold(Au), Silver(Ag). At the result, Gold(Au) shows optimum efficiency. In Tube voltage 5 keV, optimal target thickness is $0.05{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $2.22{\times}10^8$ x-ray flux. In Tube voltage 10 keV, optimal target Thickness is $0.18{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $1.97{\times}10^9$ x-ray flux. In Tube voltage 15 keV, optimal target Thickness is $0.29{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $4.59{\times}10^9$ x-ray flux.
#static elimination #target material #soft x-ray ionizer #monte carlo n-particle extended #x-ray generation efficiency

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S. M. Kim / 2015 / Study of Application of the Static Electricity Removing Devices at TFT-LCD and AMOLED TFT Process google schola Adachi T / 1980 / The Behavior of Dust Particle in Electrostatic Precipitators / Journal of the Institute of Electrostatics Japan 4(3):152~159 google schola S. Soichiro / 1990 / Contamination-Free Ionizer for Super Clean Rooms / Proc. 3rd Int. Aerosol Conference Japan :817~820 google schola S. Y. Kwon / 2010 / A Study on Characteristics of Electrostatic Eliminator used Corona Discharge and Soft X-ray google schola H. S. Hong / 2015 / A Study on Comparison of Resolution according to Filter Material and Calculation of the Radiation Dose of X-ray Generator using MCNPX Code google schola

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