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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정필훈 (부산경상대학교 소방안전.전기전자계열) 이동훈 (부경대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회지 한국안전학회지 제32권 제6호
발행연도
2017.1
수록면
29 - 33 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2018

Monte Calro N-Particle Extended Code를 이용한 연X선 정전기제거장치의 최적설계 및 특성
정필훈 학과 2018.01 학위논문

2017

Monte Carlo N-Particle Extended Code를 이용한 연 X선 정전기제거장치의 최적제작에 관한 연구(II)
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2017.01 학술저널
Monte Carlo N-Particle Extended 코드를 이용한 연X선 정전기제거장치의 최적설계에 관한 연구
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2017.01 학술저널

2016

완전차폐 및 이온조절형 연X선식 정전기제거장치의 개발
정필훈 ,  이동훈 한국안전학회지 2016.01 학술저널

초록· 키워드

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In order to solve this sort of electrostatic failure in Display and Semiconductor process, Soft X-ray ionizer is mainly used. Soft X-ray Ionizer does not only generate electrical noise and minute particle but also is efficient to remove electrostatic as it has a wide range of ionization. There exist variable factors such as type of tungsten thickness deposited on target, Anode voltage etc., and it takes a lot of time and financial resource to find optimal performance by manufacturing with actual X-ray tube source. Here, MCNPX (Monte Carlo N-Particle Extended) is used for simulation to solve this kind of problem, and optimum efficiency of X-ray generation is anticipated. In this study, X-ray generation efficiency was compared according to target material thickness using MCNPX and actual X-ray tube source under the conditions that tube voltage is 5 keV, 10 keV, 15 keV and the target Material is Tungsten(W). At the result, In Tube voltage 5 keV and distance 100 mm, optimal target thickness is $0.05{\mu}m$ and fastest decay time appears + decay time 0.28 sec. - deacy time 0.30 sec. In Tube voltage 10keV and distance 100 mm, optimal target Thickness is $0.16{\mu}m$ and fastest decay time appears + decay time 0.13 sec. - deacy time 0.12 sec. In the tube voltage 15 keV and distance 100 mm, optimal target Thickness is $0.28{\mu}m$ and fastest decay time appears + decay time 0.04 sec. - deacy time 0.05 sec.
#decay time #ion balance #target material #soft x-ray ionizer #monte carlo N-particle extended #x-ray generation

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