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자료유형
학술저널
저자정보
이지은 (삼성전자 건강연구소) 정명구 (삼성전자 건강연구소) 최광민 (삼성전자 건강연구소)
저널정보
한국산업보건학회 (구 한국산업위생학회) 한국산업보건학회지 한국산업보건학회지 제26권 제2호
발행연도
2016.1
수록면
188 - 197 (10page)

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Objectives: The purpose of this study was to evaluate the ozone exposure levels and the variations in ozone concentration in a semiconductor fabrication facility and office in relation to the ozone concentration in the outdoor air. Methods: This study was performed in an office, semiconductor fabrication facility(such as etching, diffusion, diffusion plenum), and outdoors from June to August, 2015. Measurements were taken six times at the same places using an active sampler(pumped) and real-time equipment. Ozone monitoring by the active sampler method and analysis were carried out by OSHA Method ID-214. Real-time measurement was carried out by ozone measuring equipment using a non-dispersive ultraviolet absorption method. Results: Ozone concentrations in the semiconductor fabrication facility and office were 0.7~7.1 ppb in area samples and 0.72~4.07 ppb in real-time measurement, which were 0.88~8.88% of the occupational exposure limit. The concentration of ozone generated by a laser printer in the office was less than 2 ppb. There was not a significant difference between ozone concentrations before and after using the laser printer. The indoor/outdoor concentration ratio(I/O ratio) in the semiconductor fabrication facility and office was 0.05 and 0.06, respectively. Conclusions: All the samples contained ozone levels lower than the occupational exposure limit and it was confirmed that the concentration of outdoor ozone had no significant effect on indoor ozone concentration.
#area sampling #office #ozone #real time monitoring #semiconductor

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2015 / ACGIH Threshold Limit Values for Chemical Substances and Physical Agents & Biological Exposure Indices with 7th Edition Documentation google schola 안현진 / 2015 / 수원시 대기 중 오존과 질소산화물의 장기변동 특성 (1991 ~ 2012) / 한국대기환경학회지 31(4):378~384 dbpia 채유미 / 2007 / 일개 필름 제조 사업장 오존 노출 근로자의 폐기능 변화 / Annals of Occupational and Environmental Medicine 19(3):215~222 google schola Cho EJ / 2011 / A Study on Distribution characteristics and Improvement of Indoor Air Quality in Socially Disadvantaged Class / The Annual Report of Busan Metropolitan city Institute of Health &environment 20(1):122~137 google schola Choi JW / 2003 / A Study on the Regulation and Means of Compliance for Ozone Concentration in the Cabin / Journal of Korean Society for Aviation and Aeronautics 11(2):79~92 google schola

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