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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Kim, Hyung-Taek (Advanced Materials Major, Division of Advanced Materials and Safety Engineering, College of Engineering, University of Incheon) Kim, Young-Suk (Advanced Materials Major, Division of Advanced Materials and Safety Engineering, College of Engineering, University of Incheon)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제8권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
7 - 12 (6page)

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The outgassing effects of selected vacuum materials on the vacuum characteristics were simulated by the $VacSim^{Multi}$ simulation tool. This investigation examined the feasibility of reliably simulating the outgassing characteristics of common vacuum chamber materials (aluminum, copper, stainless steel, nickel plated steel, Viton A). The optimum design factors for these vacuum systems were suggested based on the simulation results. The baking-out effects of the modeled systems and materials on the performance of the vacuum system were also analyzed. The simulation predicted that the overall outgassing effect was more significant in the TMP system than in the DP system and that the utilization of a booster pump has a greater effect on the evacuation time than on the ultimate pressure.
#outgassing #vacuum materials #vacuum characteristics #vacuum system #simulation

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