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저자정보
안승준 (선문대학교 자연과학부 신소재과학과/차세대반도체기술연구소) 김대욱 (선문대학교 자연과학부 신소재과학과/차세대반도체기술연구소) 김영철 (선문대학교 자연과학부 신소재과학과/차세대반도체기술연구소) 안성준 (선문대학교 전자정보통신공학부) 김영정 (선문대학교 공과대학 재료공학부) 김호섭 (선문대학교 자연과학부 신소재과학과/차세대반도체기술연구소)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제14권 제3호
발행연도
2004.1
수록면
186 - 190 (5page)

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An electron beam microcolumn composed of an electron emitter, micro lenses, scan deflector, and focus lenses have been fabricated and tested in the STEM mode. In this paper, we report a technique of precisely aligning the electron lenses by the laser diffraction patterns instead of the conventional alignment method based on aligner and STM. STEM images of a standard Cu-grid were observed using a fabricated microcolumn under both the retarding and accelerating modes.
#electron beam microcolumn #laser diffraction pattern #electron optics #laser alignment #electron beam lithography

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