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2022
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SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
웨이퍼 흡착용 SiC 플레이트 표면 조도 향상에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
반도체 Wafer Carrier용 CVD-SiC의 Grinding Force와 Specific Grinding Energy에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .04
웨이퍼 연삭에서 웨이퍼 및 휠의 회전 방향에 따른 연삭액 유동에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .10
웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
6인치 4H-SiC Wafer기반 SiC Power Diode 소자 제작 및 특성 평가
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
웨이퍼 연삭 공정의 이론적 모델링을 이용한 형상정밀도 향상 기술에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
세라믹(SiC) 소재의 연삭가공 특성 분석
한국기계가공학회지
2018 .02
저저항 SiC 소재의 연삭 표면 향상에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
펨토초 펄스 레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .12
SiC소재의 절입깊이 및 이송속도에 따른 연삭 저항력 비교에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
SiC 웨이퍼 박형화를 위한 펄스 레이저 기반 내부 가공 공정 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
저저항 SiC 소재의 연삭 특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
SiC 웨이퍼 표면 10 ㎛ 두께 폴리싱을 위한 펨토초 레이저 가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
CVD-SiC 소재의 가공 특성에 관한 연구
한국기계가공학회지
2017 .10
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
반도체 웨이퍼 진공 스테이지용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
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