반도체 웨이퍼 진공 스테이지용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 특성에 관한 연구

이승용; 박세진

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이승용 (한국폴리텍VI대학 구미캠퍼스) 박세진 (모던세라믹스)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2020년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2020.11

수록면: 235 - 235 (1page)

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#Wafer Vacuum Stage #Grinding Force #Al₂O₃ #Tool Dynamometer #Specific Grinding Energy

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박세진

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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