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Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
플라즈마 유동해석 코드 개발 (I)
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2019 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
반도체 건식 식각 및 PECVD시스템에서 진공중 웨이퍼 반송에 따른 상호오염 시뮬레이션
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2017 .11
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
플라즈마 유동해석 코드 개발 (II)
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2019 .05
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