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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.4
- 수록면
- 229 - 229 (1page)
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Numerous researches about photolithography process were invented and presented the ability to fabricate various micro/nanostructures by using direct laser writing, E-beam lithography, and nanoimprint lithography. Conventionally, functional polymers are patterned with various photolithographic techniques into ordered microstructures utilizing ... 전체 초록 보기
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