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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
심광민 (홍익대학교) 서정환 (홍익대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
138 - 138 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

전기전도성 액체 베어링을 이용한 탑-드라이브 방식 멤스 로터리 액추에이터 연구
심광민 ,  서정환 대한기계학회 춘추학술대회 2021.05 학술대회자료

2020

액체 베어링을 이용한 마이크로 로터리 액추에이터 연구
심광민 ,  서정환 대한기계학회 춘추학술대회 2020.07 학술대회자료

초록· 키워드

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MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기반 마이크로 스케일 액추에이터는 정밀한 위치제어를 가능하게 하는 액추에이터 중 하나로써, 과학연구 및 산업에서 활발한 연구가 이루어지고 있다. 기존 연구에서는 로터의 안정성을 위해 액체 베어링의 사용 수 증가로 복잡도가 증가하고 유전력이 낮은 단점이 있다. 본 연구에서는 이를 극복하기 위해 전기전도성 액체 베어링을 이용한 탑-드라이브 방식의 MEMS 로터리 액추에이터를 설계하였다. 액체 베어링은 Rotor와 Stator 간 전기적 도선역할 ... 전체 초록 보기
#MEMS(멤스) #Tilting rotary actuator(틸팅 로터리 액추에이터) #Microfabrication(초미세가공) #Liquid ring bearing(액체 링 베어링) #Dielectric liquid disk(유전성 액체 디스크)

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