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저자정보
이우승 (서울과학기술대학교) 김혜인 (서울과학기술대학교) 손현지 (서울과학기술대학교) 노현찬 (서울과학기술대학교) 김광준 (서울과학기술대학교) 김민욱 (서울과학기술대학교) 송정근 (서울과학기술대학교) 최광진 (서울과학기술대학교) 윤부현 (서울과학기술대학교) 옥종걸 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
499 - 499 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

Etch-free 직가공 공정을 통한 나노마이크로 가변경사(blazed) 패턴 제작 및 최적 공정조건 연구
이우승 ,  노현찬 ,  김민욱 외 5명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2021.06 학술대회자료
나노마이크로 가변경사(블레이즈)패턴의 연속 직가공 제작을 위한 틸트나노각인 공정원리 개발 및 공정조건 연구
이우승 ,  김혜인 ,  손현지 외 7명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.05 학술대회자료

초록· 키워드

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기울어진 형태의 나노 스케일의 경사(Slanted 또는 Blazed)패턴은 구조상 낮은 편광의존손실(Polarization Dependent Loss, PDL)과 높은 회전효율, 기울어진 방향성을 가지기 때문에 회절격자로써 우수한 특성을 보인다. 하지만 통상적으로 나노패턴은 포토리소그래피(Photolithography)및 나노임프린트리소그래피(Nano Imprint Lithography)공정을 기반으로 하며 경사패턴을 구현하기 위해서는 특정각도형성을 위한 추가적 장치나 복잡한 공정이 필수적이고, 이는 많은 시간과 비용을 수반한다. 이러한 기존 공정의 한계를 극복하고자 기계적 직가공 원리를 기반으로 경질의 Grating 몰드의 Z 축 방향 회전을 통해 유연 폴리머 필름(PC, PI, etc.) 기판상에 다양한 형상, 주기의 나노패턴을각인하는 틸트나노각인(Z-axis-tilted Dynamic Nanoinscribing, Z-DNI) 공정원리가 도출되었다. Z-DNI 공정을 통한Nanog ... 전체 초록 보기
#Nanopatterning #Axis-tilted nanoinscribing #Slanted pattern #Blazed pattern #Polymer deformation

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